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德國Leybold真空計

產品簡介

德國Leybold真空計萊寶真空計 今天,真空技術已經能獲得從1000毫巴帶10-13毫巴的超真空。為保證穩定、高質量的生產和工藝,必須采用精確的測量和控制儀器來檢測與調整所需要的工作壓強。

產品型號:
更新時間:2023-09-19
廠商性質:經銷商
訪問量:2680
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品牌Leybold/德國萊寶價格區間2千-5千
儀器種類濺射離子泵產品類型無油泵
產地類別進口應用領域綜合

今天,真空技術已經能獲得從1000毫巴帶10-13毫巴的超真空。為保證穩定、高質量的生產和工藝,必須采用精確的測量和控制儀器來檢測與調整所需要的工作壓強。萊寶公司作為全系列的真空設備供應商,擁有應用各種工作原理的真空計,其測量范圍從1000毫巴到10-12毫巴,覆蓋了15個數量級,可以滿足各種真空工藝的要求。

德國Leybold真空計的介紹:
萊寶真空計TTR91,萊寶TTR91真空計,TTR91萊寶真空計,真空規管,皮拉尼計德國萊寶真空計有:
- 用于測量粗真空的各種工作原理的機械指針式真空表。
- 各種間接測量的數顯真空規,它們是:
- 熱電阻真空規(皮拉尼規) TTR91、TTR91S、TTR96、TTR96S- 冷陰極電離真空規(潘寧規) PTR225- 薄膜電容規 CTR100、CTR91- 薄膜/皮拉尼復合規 TTR100、TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復合規 PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復合規 ITR90
- 便攜式真空表TM90、TM100
- 新型Center和Display系列真空計
德國萊寶Leybold真空計TTR91SDN16KF系列:
- 各種間接測量的數顯真空規,它們是:
- 熱電阻真空規(皮拉尼規) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S- 冷陰極電離真空規(潘寧規) PTR225- 薄膜電容規 CTR100/CTR91- 薄膜/皮拉尼復合規 TTR100/TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復合規 PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復合規 ITR90
- 便攜式真空表TM90/TM100

德國Leybold真空計的分類:
真空計可分為真空計和相對真空計兩大類。凡能從其本身測得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接計算出氣體壓力的稱真空計,這種真空計測量精度較高,主要用作基準量具。相對真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導、電離、粘滯性和應變等)與壓力的關系間接測量,其測量精度較低,而且測量結果還與被測氣體種類和成分有關。
因此相對真空計必須用真空計標定和校準后方能用作真空測量。但它能直接讀出被測壓力,使用方便,在實際應用中占絕大多數。真空技術需要測量的壓力范圍為105~10-11帕,甚至更小,寬達16個數量級以上,尚無一種真空計能適用于從粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)、高真空(10-1~10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到*真空(小于10-10帕)的全范圍測量,因而有多種真空計。zui常用的有U形管真空計、壓縮式真空計、電阻真空計和冷熱陰極電離真空計。U形管真空計用以測量粗真空和低真空的真空計(圖1)。
在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大氣),另一端接被測真空系統。根據兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統的壓力。壓縮式真空計又稱麥克勞真空計,是一種測量低真空和高真空的真空計。這種真空計一般用硬質玻璃制成(圖2a)。A是一根與被測真空系統相連接的開管,D、B為內徑相同的毛細管,V為球泡,其體積遠大于毛細管。測量時,通過活塞2抽真空,然后用活塞1充氣,使汞儲存器C中的汞上升到覆沒交叉口ΜΜ′,則D、V和B、A內的氣體被隔成兩個區域。再充氣繼續提高汞液面,D、V內的氣體則進一步被壓縮,壓力增高。這樣D、B間存在的壓差可由汞柱高度差來表示(圖2b)。
玻璃容器的體積和毛細管的高度是可精確測出的,所以用玻意耳定律即可算出被測壓力。測量精度較高,在10-3帕時的精度小于或等于5%。電阻真空計又稱皮喇尼真空計,是一種測量低真空的相對真空計,主要由電阻式規管和測量線路兩部分組成。電阻式規管(圖3)是在管殼內封裝著一條電阻溫度系數較大的電阻絲,常用的為鎢或鉑絲。測量時,規管與被測真空系統相接,用一定的電壓、電流加熱電阻絲,其表面溫度可用電阻值來反映,且與周圍的氣體分子的熱傳導有關,而氣體分子的熱傳導又與壓力有關。當被測壓力降低時,由氣體分子傳走的熱量減小,電阻絲表面溫度就增高,電阻值增大;反之,電阻值減小。因此根據電阻值的大小就可測量出壓力。熱陰極電離真空計通稱電離真空計,主要用于高真空測量。
它是由圓筒式熱陰極電離規管(圖4)和測量線路兩部分組成。這種規管與三極電子管相似,有3個電極:陰極(燈絲)、螺旋形柵極(加速極)和圓筒形收集極。測量時,規管與被測真空系統相連。通電后,熱陰極發射電子,在飛向帶正電位的加速極的路程中與管內空間的低壓氣體分子碰撞,使氣體分子電離。電離所產生的電子和離子,分別在加速極和收集極(帶負電位)上形成電子流Ie和離子流Ii。在被測氣體壓力低于10-1帕的狀況下,當電子流Ie恒定時,離子流Ii與被測真空系統中的氣體分子密度(亦即壓力p)成正比。因此,離子流的大小就可作為壓力的度量。
這種真空計的測量范圍為10-1~10-5帕。此外,還有測量上限能達102帕以上的高壓力電離真空計。這種電離真空計在工作時,陰極發射的電子撞擊加速極時產生軟性X射線,照射到收集極上時便引起收集極的光電子發射,因而就在離子流測量回路中增加一個與被測壓力無關的剩余光電流IX,限制測量下限的擴展。
為了減少這種軟X射線對收集極的影響,人們又研制出BA式電離規管(圖5)。它是將收集極改為針形,并與陰極的位置對換,這樣使光電流IX大為減少,使壓力測量下限從10-5帕擴展到10-8帕左右,從而解決了超高真空測量的問題。冷陰極電離真空計一種測量高真空的相對真空計。
它由電離規管和測量線路兩部分組成(圖6)。規管一般由兩塊平行的陰極、一個環形的陽極和產生磁場的磁鋼構成。在電極之間加有高壓直流電場,而整個規管的電極系統又置于垂直電極平面的磁場中。在正交電場和磁場的作用下,由低壓氣體分子電離產生的放電電流是被測壓力的函數,所以放電電流的大小可作為壓力的度量。


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